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  Semiconductor & Vacuum Coating Process

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传感器集成与分析系统

INFICON 传感器集成与分析系统提供过程验证和控制,包括关键过程参数的连续运行控制以用于过程优化,以及在检测到任何错误及其可能原因时立即自动向过程设备或过程工程师进行反馈。

FabGuard® 传感器集成与分析系统可从现场传感器获取数据,将该数据与从过程设备自身获取的数据进行集成,然后进行精简和分析,从而向过程工程师提供有用的信息。另外,工程师也可以选择让 FabGuard 直接向过程设备自动发送控制命令。

FabGuard 传感器集成与分析系统

强大的数据管理功能以提高生产率

eFabGuard 全球支持网络

现在可随时随地致电 INFICON 诊断专家以监控您的过程并排除其中的故障。