|
|
|
|
整个工厂范围，特定于过程
FabGuard FDC 将在线故障检测和分类 (FDC) 功能与强大工具相结合，让工厂工程师能够轻松快速分析过程和设备的几乎所有特性。 FabGuard FDC 具有其他系统无可比拟的强大功能，能够防止晶圆损失，减少计划外的停工时间，以及提高产量。
无论晶圆大小或产品几何形状如何，及时提供信息是工厂提高生产力和竞争力的关键所在。 削减成本的压力日益增加，使得通过减少废弃晶圆数量、最大化设备利用率成为最大限度提高工厂生产力的重要手段。 FabGuard 系统收集了对维护先进工厂生产力驾轻就熟的统计员和工程师的丰富经验，只需使用一个 FabGuard 系统，当今半导体制造业所面临的挑战即可迎刃而解。 FabGuard FDC 的构建秉承一个原则：过程和设备知识是实现顺畅工厂操作的关键所在。
重新定义 FDC - FabGuard 检测和分类
FabGuard FDC 采用了各个层级的 FDC 工程技术，从详细的经过亲身实践的腔室特定知识，到工厂范围的统计过程控制技术，无所不包。
FabGuard FDC 是唯一一个将工厂范围的 FDC 系统的扫频功能与工具特定数据分析功能相结合的系统，用于过程工程和设备故障排除。 既定工厂统计过程控制 (SPC) 方法可以轻松编程到 FabGuard 中，从而增强实时工具阻止功能的优势。 检测故障时立即应用工具阻止功能，可大幅减少晶圆碎片。 检测到失去控制的状况时，FabGuard FDC 可以立即做出反应，停止存在问题的工具。
FabGuard FDC 专家系统了解您的过程并识别其中的问题
SPC 规则通常发挥着避免产品损失的第一道防线作用。 此外，FabGuard FDC 还提供其他级别的保护作用 – 可培训专家系统 FDC 生成器。 工厂工程师可以对 FabGuard FDC 进行培训，使其能够在出现新问题时识别问题，并在问题再次发生时自动检测问题。 工厂工程师所掌握的问题解决技巧可以轻松转化为 FabGuard FDC 秘决，用来对任何工具任何腔室上的任何过程步骤实施监控。 FabGuard FDC 专家系统功能与基于 SPC 的工具阻止功能并行运行，允许过程和设备工程师对 FabGuard 进行培训，使其能够识别 SPC 方法可能无法检测的问题。 工厂工程师拥有深厚的专业知识，能够确保设备运行和晶圆过程顺畅进行。 FabGuard FDC 专家系统允许将这些工程技巧编入 FabGuard FDC，以增强晶圆保护和故障识别功能。
*工厂范围内的 FabGuard FDC *
FabGuard FDC 系统可在工厂层级部署并可保持在此层级，实现对所有晶圆过程设备执行实时统计过程控制 (SPC)。 单个用户界面允许工程师对工具和过程数据进行排序、显示和分析，极其灵活，易于使用。
- 工厂工程师拥有强大的基于工具的数据可视化能力，能够分析设备和过程的所有特性。
- 过程工程师可以立即确定设备状态与晶圆产量的关系。
- 设备工程师可以快速诊断工具问题，减少计划外停工时间。 过程腔室之间可以进行比较和匹配。
可扩展性、可持续性
数据会加以存档，分析结果会存储在 Microsoft ® SQL or Oracle ® 数据库中。 硬件冗余可以通过一个基于工具的系统（该系统能够从一个工具轻松扩展到整个工厂中的数百个工具）予以消除。 FDC 工程师可以通过一个单一且易于使用的界面对所有信息进行排序和查看。 信息格式保持一致增强了学习能力，促进在不同工厂小组之间共享信息。 警报、报告和工具阻止功能可以根据用户组的特定需要及具体的设备环境加以配置。 INFICON 充分利用其在众多全球领先工厂中积累的丰富经验，创建了系统模板，这些模板一经部署即可快速回收成本。
实时 SPC 与专家系统功能独特结合，使 FabGuard FDC 成为当今市场上最强大的系统，可以用于检测问题以避免晶圆损失并减少计划外设备停工时间。
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
|
|
|
|
