现在可以随时随地致电 INFICON 诊断专家以监控您的过程并排除其中的故障。
eFabGuard 全球支持网络
每款工具都配备有一个运行 FabGuard 软件的计算机，用于控制 INFICON 和其他现场传感器以及收集工具数据。 FabGuard Executive 管理工具和 FabGuard Remote 之间的信息流量。 此外，FabGuard Executive 还可以连接至本地网络。eFabGuard 可以随时随地通过安全的 VPN 将 FabGuard 连接至 INFICON。
胜过 eFabGuard 网络式诊断，eFabGuard 是第一个基于 Internet 的监控网络，具有对半导体工具和过程进行多传感器分析和诊断的功能。 它可与我们的 FabGuard 传感器集成与分析系统结合使用，让您可以与您的过程及 INFICON 半导体和真空专家保持密切联系，INFICON 半导体和真空专家可以利用 eFabGuard 远程查看数据，帮助您分析和排除问题。 这无疑延长了工具运行时间，提高了生产力。
利用多传感器分析与诊断技术更快速地响应过程问题。
FabGuard 传感器集成与分析系统可以监控您过程中所用的每个工具上的每个传感器，从而：
- 对过程控制和故障检测确定终点提供随时间变化而变化的分析以及实时分析
- 缩短 MTTR 和工具恢复时间
- 检测故障并进行分类，以更快速地响应问题，减少停工时间
- 自动收集和储存数据以增强 SPC
- 从多个传感器集成数据，以便访问和分析
- 全面分析工具/过程状况，为预防性维护人员提供帮助
eFabGuard 功能概览
利用 eFabGuard，与现场工程师合作的 INFICON 专家能够：
- 立即查看工具或过程问题
- 协助提早检测工具偏移并进行分类，更有效地计划例行维护，以及开发新的应用
- 维护 FabGuard 分析方法
- 监控传感器性能
INFICON 专家与您倾力合作，帮助延长运行时间，提高生产力
eFabGuard 利用 FabGuard 数据，使 INFICON 专家和工厂人员 1 天 24 小时均可通过高度安全的、基于 Internet 的虚拟专用网络 (VPN) 对其进行访问。 这样，您可以轻松有效地利用我们在先进过程控制方面多年的经验总结出的专业技术和应用知识，以及故障检测专业技术和知识，帮助您更快速地解决问题。
您的数据安全无虞
eFabGuard 通过经由行业验证的虚拟专用网络 (VPN) 发送和接收数据，VPN 融合了 Internet 的可访问性和专用网络的高安全性、私密性和服务质量。 操作系统或路由器中内置有成熟的数据加密技术（3DES 和 IPSec），可与其他措施一起确保您专有过程信息的机密性。
eFabGuard 让您和 INFICON 专家能够同时从世界各个角落安全地监控所有工具和过程数据，进而为您提供前所未有的功能，让您能够检测故障并对其进行分类，提高总体设备效力，最大化运行时间 – 这一切都比现场服务更快速、更具成本效益。
相关技术信息
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - eFabGuard Global Support Network
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