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感測整合及分析系統
INFICON 感測器整合及分析系統提供半導體製程分析及控制整合功能，包括製程參數最佳化生產良率控制、即時提供異常狀況訊息給製程或設備工程師，以協助異常狀況的診斷及防制。
FabGuard? 感測器整合及分析系統從線上感測器讀取數據，再將取得的數據與製程設備本身的參數作整合、及分析，然後把分析的結果及訊息傳給現場或製程工程師，讓工程師採取必要的行動。工程師也可以設定命令 FabGuard 自動送出控制指令給製程設備。
FabGuard 感測器整合及分析系統
高效的數據處理及管理系統增進生產力。
eFabGuard 全球支援網路
現在，您可以隨時隨地要求 INFICON 診斷專家為您的製程監測把脈。
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