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  Semiconductor & Vacuum Coating Process

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傳感器集成與分析系統

INFICON 傳感器集成與分析系統提供過程驗證和控制,包括關鍵過程參數的連續運行控制以用於過程優化, 以及在檢測到任何錯誤及其可能原因時立即自動向過程設備或過程工程師進行反饋。

FabGuard? 傳感器集成與分析系統可從現場傳感器獲取數據,將該數據與從過程設備自身獲取的數據進行集成, 然後進行精簡和分析, 從而向過程工程師提供有用的信息。另外, 工程師也可以選擇讓 FabGuard 直接向過程設備自動發送控制命令。

FabGuard 傳感器集成與分析系統

強大的數據管理功能以提高生產率。

eFabGuard 全球支援網路

現在,可隨時隨地致電 INFICON 診斷專家以監控您的過程並排除其中的故障。