이제 여러분은 INFICON 진단 전문가에게 연락해서 언제 어디서든 공정 문제를 감시하고 해결할 수 있습니다.
eFabGuard 글로벌 지원망
각 툴에는 INFICON 및 그 외의 현장 센서들을 제어하고 툴 데이터를 수집하는 FabGuard 소프트웨어를 실행하는 전용 컴퓨터가 있습니다. FabGuard Executive는 툴과 FabGuard Remote 간의 정보 트래픽을 관리합니다. FabGuard Executive는 지역망으로 연결할 수도 있습니다. eFabGuard는 안전한 VPN을 통해 언제 어디서든 FabGuard를 INFICON으로 연결합니다.
반도체 툴 및 공정에 대한 다중 센서 분석과 진단 능력을 갖춘 최초의 인터넷 기반 감시망인 eFabGuard를 이용하면 인터넷 진단뿐만 아니라 다양한 편리한 기능을 활용할 수 있습니다. 당사의 FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템과 연동하여 공정과 연결을 유지할 수 있으며 INFICON 반도체 및 진공 전문가들은 eFabGuard를 이용하여 원격으로 데이터를 보면서 문제를 분석하고 문제를 해결할 수 있습니다. 따라서 툴의 가동시간이 늘어나고 생산성이 향상됩니다.
다중 센서 분석 및 진단으로 공정 문제에 대한 대응 속도가 빨라집니다.
FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템은 공정 내의 모든 툴에 대한 모든 센서를 감시함으로써 다음과 같은 일을 할 수 있습니다.
- 공정 제어 및 고장 탐지를 위한 가동별(run-by-run) 분석 및 실시간 분석 제공과 엔드포인트 결정
- MTTR 및 툴 회수 시간 감소
- 고장 검출 및 분류로 문제 대응 속도 개선 및 정지시간 단축
- 자동으로 데이터 수집 및 저장으로 SPC 향상
- 다수의 센서 데이터 통합으로 편리한 접근 및 분석
- 툴/공정 상태에 대한 전체적인 현황 제공으로 예방 정비 인력 지원
eFabGuard 요약
현장 엔지니어와 함께 일하는 INFICON 전문가는 eFabGuard로 다음과 같은 일을 할 수 있습니다.
- 도구 또는 공정 문제를 즉시 조회한다
- 툴 드리프트를 더 빨리 검출 및 분류하고 일상적인 정비 일정을 더 효율적으로 수립할 수 있으며 새 애플리케이션을 개발한다
- FabGuard 분석 처방을 유지한다
- 센서 성능을 감시한다
INFICON 전문가들은 고객과 협력하여 가동시간과 생산성을 향상시킵니다
eFabGuard는 대량의 FabGuard 데이터를 수집해서 매우 안전한 인터넷 기반 가상사설망(VPN)을 통해 하루 24시간 INFICON 전문가들과 제조공장 인원들에게 제공합니다. 이를 통해 당사가 고도 공정 제어 및 고장 검출에서 오랫동안 축적해 온 경험을 통해 개발한 전문 지식과 응용분야 지식, 그리고 문제 해결을 지원하는 지식을 쉽고 효율적으로 활용할 수 있습니다.
귀사의 데이터는 보호됩니다
eFabGuard는 인터넷의 접근성을 전용망의 높은 안전성, 프라이버시 및 품질과 결합한, 업계에서 입증된 가상사설망(VPN)을 통해 데이터를 주고 받습니다. 운영체제나 라우터에 내장된 정교한 데이터 암호화(3DES와 IPSec)를 비롯한 보안 수단들은 귀사의 독점적인 공정 정보의 기밀성을 보장합니다.
eFabGuard 귀사와 INFICON의 전문가들이 전세계 어디에서든 모든 툴 및 공정 데이터를 동시에 안전하게 감시할 수 있게 해줌으로써 전례없는 고장 검출 및 분류 기능을 제공하고 전체적인 설비의 효율을 개선시키며 현장 서비스보다 더 빠르고 비용 효과적으로 가동시간을 극대화합니다.
관련 기술 정보
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - eFabGuard Global Support Network
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