공정별 툴 관리 INFICON 센서 통합 및 분석 시스템은 공정 최적화와 공정 설비나 공정 엔지니어에게 모든 검출된 고장 및 잠재적인 원인의 즉각적이고 자동적인 피드백을 위한 주요 공정 파라미터들의 가동간(run-to-run) 제어를 비롯한 공정 확인 및 제어 기능을 제공합니다.
FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템은 현장 센서에서 데이터를 취해서 공정 설비에서 받은 데이터와 통합시킨 다음 요약 및 분석하여 공정 엔지니어에게 실행 가능한 정보를 제공합니다. 엔지니어는 FabGuard가 자동으로 제어 명령을 직접 공정 설비로 보내는 것을 선택할 수도 있습니다.
생산성을 향상시키는 강력한 데이터 관리
귀사의 제조공장 데이터가 여러분을 대신해서 일을 하도록 만드십시오. FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템은 공정 드리프트, 오염, 툴 오작동 또는 불필요한 시험 웨이퍼에 의한 손실의 감소와 공정 제어를 통해 툴의 생산성을 높입니다.
FabGuard는 계속해서 공정을 감시하고 제어합니다. FabGuard는 시작하자마자 INFICON 센서와 툴에서 운전을 위해 사용하는 내장 센서로부터 모든 가용 데이터를 수집합니다. 이 데이터는 보관되고 분석 결과는 검색 가능한 SQL 데이터베이스에 저장됩니다. 오퍼레이터는 하나의 일관성 있고 사용하기 쉬운 인터페이스를 통해 이 정보를 이용합니다. 그런 다음 FabGuard는 정교한 물리적 모델과 통계 기법을 이용해서 이 데이터를 분석하며, 다양한 파라미터 간의 상관관계를 찾고 이전 가동으로부터 개발된 모델과 공정을 면밀히 비교합니다. 이러한 기법은 FabGuard가 공정 이벤트를 확실히 검출하여 공정 제어를 위해 사용함으로써 공정 이탈을 빠르게 탐지할 수 있으므로 거짓 경보가 훨씬 줄어듭니다.
공정, 툴 또는 전체 제조공장을 관리합니다. FabGuard의 첨단 데이터 분석은 이벤트 기반(예: 엔드포인트 검출), 진행/중단 및 통계 공정 제어(SPC) 기법에서 가동별 제어 및 가동 중 실시간 고장 검출과 공정 수정까지 공정 제어를 향상시킬 수 있는 신뢰할 수 있는 정보를 만듭니다. 따라서 공정의 신뢰성이 향상되고 문제점이 더 빨리 검출되므로 광범위한 시험 웨이퍼 사용이나 긴 공정 설정 시간이 필요 없어서 생산량이 증가합니다.
FabGuard 특징 요약
공정 제어 및 고장 검출을 위한 가동별 및 실시간 분석은 스크랩을 줄이고 공정 제어를 향상시킵니다.
자동화된 데이터 수집 및 이력 파일 저장은 다수의 센서에서 받은 SPC 데이터를 향상시키고 하드웨어 중복을 줄이며 전체 툴, 공정 또는 제조공장에서 받은 전체 데이터를 통합시켜서 접근 및 분석이 편리합니다.
모든 툴 데이터에 대한 단일 사용자 인터페이스는 학습 곡선을 단축시킵니다
고장 분류를 통해 문제에 대한 대응이 더 빨라지고 정지시간이 최소화됩니다
툴/공정 상태에 대한 전체적인 현황 제공으로 예방 정비 인력 지원
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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
Brochure - FabGuard Sensor Integration and Analysis System English
Technical Information:
Application Note - Achieving Process Understanding and Real-time Fault Detection on a PVD Tool English
Application Note - Transfer Chamber Monitoring / 200mm and 300mm PVD Cluster Tools English
Technical Note - DC Power Fault Detected by FabGuard English
Technical Note - Detecting Contamination in a Transfer Chamber by a CVD Chamber Using FabGuard English
