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Fabwide, 공정별
FabGuard FDC는 온라인 고장 검출 및 분류(FDC) 기능을 강력한 생산공장 엔지니어용 툴들과 결합하여 공정 및 설비 특성의 거의 모든 측면을 즉시 분석합니다. 웨어퍼 손실으로부터 보호하고 예상하지 못한 툴 정지시간을 줄이고 생산량을 늘리는 능력이 이 보다 더 우수한 시스템은 없습니다.
웨이퍼 크기나 제품 형상과 상관 없이 제조공장의 생산성과 경쟁력의 핵심은 시기적절한 정보입니다. 비용 절감에 대한 압력이 증가함에 따라 폐기되는 웨이퍼의 수를 줄이고 설비 활용도를 극대화함으로써 생산공장의 생산성을 극대화하는 것이 중요합니다. 오늘날의 반도체 제조의 난제들은 최고의 제조공장 생산성을 유지해야 하는 통계전문가 및 엔지니어들의 공동 과제를 가능하게 만드는 하나의 FabGuard 시스템으로 해결할 수 있습니다. FabGuard FDC는 공정 및 설비 지식이 원활한 제조공장 운영에 중요하다는 원리를 기반으로 제작되었습니다.
FDCD의 재정의 - FabGuard 검출 및 분류
FabGuard FDC는 세부적인 현장의 챔버별 지식에서 전체 제조공장의 통계적 공정 관리까지 모든 수준에서 FDC 엔지니어링을 가능하게 만듭니다.
FabGuard FDC는 제조공장 전체의 FDC 시스템의 광범위한 기능을 툴별 데이터 분석 기능과 결합하여 공정 엔지니어링 및 설비 문제를 해결하는 유일한 시스템입니다. 기존의 제조공장 통계 공정 제어(SPC) 기법들은 FabGuard 안에 쉽게 프로그램할 수 있으며 실시간 툴 차단도 가능합니다. 고장이 검출될 때 즉시 툴 차단을 적용한다면 웨이퍼 스크랩을 획기적으로 줄일 수 있습니다. FabGuard FDC는 통제 불능 조건이 검출되면 즉시 반응하여 문제 툴들을 정지시킬 수 있습니다.
FabGuard FDC 전문가 시스템은 귀사의 공정을 학습하여 문제를 인지합니다
SPC 규칙은 제품 손실을 방지하기 위한 첫 번째 방어선으로 이용할 수 있습니다. FabGuard FDC는 훈련 가능한 전문가 시스템 FDC 빌더로 추가적인 보호 수준을 제공합니다. 제조공장 엔지니어들은 FabGuard FDC를 훈련시켜서 새로운 문제가 나타날 때 그 문제를 인지하고 또 다시 발생하면 자동으로 검출하도록 만들 수 있습니다. 제조공장 엔지니어들의 문제해결 노하우를 모든 툴의 모든 챔버에 대한 모든 공정 단계를 감시하는 FabGuard FDC 처방으로 쉽게 변환할 수 있습니다. FabGuard FDC 전문가 시스템 기능을 SPC 기반 툴 차단과 함께 사용하여 공정 및 설비 엔지니어들이 FabGuard를 훈련시켜서 SPC 기법들이 검출하지 못하는 문제들을 인지하도록 만들 수 있습니다. 제조공장의 엔지니어들은 설비를 가동시키고 웨이퍼 공정을 유지할 수 있는 전문 지식을 보유하고 있습니다. FabGuard FDC 전문가 시스템은 엔지니어링 노하우를 FabGuard FDC 안에 프로그램하여 웨이퍼 보호 및 고장 식별을 향상시킬 수 있습니다.
FabGuard FDC Fabwide
FabGuard FDC 시스템은 모든 웨이퍼 공정 설비에 대한 실시간 통계 공정 제어(SPC)를 위해 공장 수준에서 사용 및 유지할 수 있습니다. 엔지니어들은 단일 사용자 인터페이스를 이용해서 툴 및 공정 데이터를 탄력적으로 쉽게 표시하고 분석할 수 있습니다.
- 제조공장 엔지니어들에게 강력한 툴 기반 데이터 시각화와 설비 및 공정 특성의 모든 측면을 분석할 수 있는 기능이 제공됩니다.
- 공정 엔지니어는 설비 상태와 웨이퍼 결과 간의 관계를 쉽게 결정할 수 있습니다.
- 설비 엔지니어는 툴 문제를 빠르게 진단하여 예상하지 못한 정지시간을 줄일 수 있습니다. 공정 챔버들을 비교하고 일치시킬 수 있습니다.
확장성, 지속가능성
Microsoft SQL 또는 Oracle 데이터베이스에 데이터를 보관하고 분석 결과를 저장할 수 있습니다. 하나의 툴에서 전체 제조공장의 수백 대의 툴까지 쉽게 확장시킬 수 있는 툴 기반 시스템을 통해 하드웨어 중복을 제거합니다. FDC 엔지니어는 사용하기 쉬운 하나의 인터페이스를 통해 모든 정보를 분류하고 조회할 수 있습니다. 일관성 있는 형식은 학습 곡선을 개선시키고 제조공장 내의 다른 그룹들 간에 정보 공유를 촉진시킵니다. 사용자 그룹 및 설비 상황의 구체적인 요구사항에 따라 경보, 보고 및 툴 차단을 구성할 수 있습니다. INFICON은 전세계의 최고 제조공장들에서 얻은 경험을 바탕으로 짧은 시간 내에 비용을 상쇄하는 시스템 템플릿들을 만들었습니다.
FabGuard FDC는 실시간 SPC과 전문가 시스템 기능의 고유한 결합을 통해 웨이퍼 손실을 방지하고 예상하지 못한 설비 정지시간을 줄이기 위해 문제를 검출하는 가장 강력한 시스템입니다.
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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