FabGuard Suite of Products
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FabGuardセンサ統合および分析システム
インフィコンのセンサ統合および分析システムは、半導体プロセスの検証ならびにコントロールを提供します。例えば、プロセスを最適化するために重要なプロセスパラメータをプロセスごとにコントロールすることや、プロセス装置またはプロセスエンジニアに対して、検出された故障やその考えられる原因を、迅速かつ自動的にフィードバックすることなどがあります。
FabGuard®センサ統合および分析システムは、In-Situセンサからデータを取得し、そのデータをプロセス装置自身のデータと統合して蓄積および分析することにより、すぐに役立つ情報をプロセスエンジニアに提供します。あるいは、エンジニアは、FabGuardを介して、コントロールコマンドを直接プロセス装置に自動送信することもできます。
FabGuard®センサ統合および分析システム
パワフルなデータ管理により生産性を強化
eFabGuardグローバルサポートネットワーク
インフィコンの診断専門家にお電話をくだされば、いつでもどこでも、お客様のプロセスをモニタおよびトラブルシューティングいたします。
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