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収集、分析、停止、レポート機能が一つの全統合システムに
FabGuard® は’s 製造用としてデザインされ、FDCシステムはすべてのユーザがすべての環境で使用できます。これはデータ収集の全特長と広範囲なエンタープライズ生産能力の分析を融合しています。
- 収集と分析
- Mhzアナログデータ収集
- > 10 Hz 装置データ収集（装置が使用できる時）
- アドバンスセンサの固有でダイナミックなコントロール（固有コントロールは、リークチェックやRFデリバリートラブルシューティングのようにFDCでもFDCではない作業でもセンサを作動させます）
- 装置ロジスティカル情報
- 終点と致命的な故障検出のデータポイント分析によるデータ
- 数値操作などコンディショニングやフレーミング、サマライズを含む高度なデータ準備
- 以下を含むアドバンスモデル
- *多変量故障検出：PCA、判別分析、エンベロープ
- *処方最適化によるバーチャル計測:PLS、階段状回帰
- *根本原因の調査
- SPC: 一変量と多変量
エンタープライズ
- サマライズと装置、プロセス、ライン、製造の比較ができる広範囲なデータ埋め込み装置がついたフレキシブルなデータベース
- レポートやアラームからのローデータへの完全掘り下げ
- ウェブブラウザを通したリモートアクセス付きのセントラルマネジメント
- 製造全体、複数レベルのセキュリティ
プロセスと装置知識のもとづいたサポート
INFICONはFDCソフトウェアを理解しているだけでなく、装置とプロセスを理解しているエンジニアによってローカルサポートを提供します。これはそれぞれの装置に合わせた最も効果的なシステムをお客様のためにセットアップするお手伝いをするということです。問題がCVD汚染であろうと、エッチングのパワー供給やリソグラフィーのフォトレジスト監視であろうと、または歩留まり予測の高度なモデルであろうと、INFICONのエンジニアは経験と知識で対応します。
確立されたユーザ経験がさらなる特長を提供します。
INFICONはお客様をパートナーと考え、工場がより複雑なプロセスへと進むにあたってお客様が何を必要なのかを学んでいきます。FabGuardの製品は世界中の製造現場にいる数多くのユーザのニーズをまとめたもので、それによって全ユーザの経験から生まれた成果を享受できるということになります。同時に、INFICONは常に財産情報の秘密厳守を約束します。個々のお客様がどのように製品を使うかは決して流出いたしません。
オープンデザイン–FabGuardにすべて任せ、直接データにアクセスしてあなた仕様の機能を作りましょう
FabGuardはフル機能を備えた製品ですが、あなた自身の機能を追加したくなることもあるでしょう。そこで完全にオープンなデータベーススキーマと、データエクスポート機能、特定APIを可能にしました。未加工、または事前加工のデータをリクエスト、自分で分析を行い、結果をFabGuardに再挿入できるので、既存レポートの再使用、データベースの埋め込みができるというわけです。
特別なニーズをサポートするために、フレキシブルで整ったトレーニング
INFICONはFabGuardをお求めになった方に充実したトレーニングプログラムを提供しています。トレーニングはベーシックなシステム使用から高度な多様モデル、システムアドミニストレーションまで揃っています。このトレーニングプログラムではまた、インターネットにアクセスするだけで実践的なトレーニングが受けられるライブトレーニングシステムも用意しています。
複数ユーザが使うことでより早い利益回収
FabGuardは単なるFDCシステムではありません。同時に3種類のユーザのためにデザインされています。それは、高度なプロセスコントロールと歩留まり管理、プロセスエンジニア、そして装置エンジニアです。
FabGuardは複数ユーザが多目的に同時に製品を使用できるようにデザインされています。SPCレポートが装置を保護するために管理されている一方、あるチャンバーでのマニュアルトラブルシューティングが装置の修復と回復を迅速にします。複数グループが同じFabGuardソフトウェアを使うため、購入の利益回収は断然早いというわけです。
FabGuard 分析サーバ
アドバンスモデル、データ分析と視覚化機能がシンプルに
FabGuard FDC
プロセス、装置、そして製造全体を管理
FabGuard Explorer
Transpectorガス分析システムのプロセス特性評価ソフトウェア
FabGuard Sensor Integration and Analysis System
生産力を強化するパワフルなデータ管理
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