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FabGuard センサ統合および分析システム
装置管理、プロセス仕様
インフィコンのセンサ統合および分析システムは、プロセス最適化における重要なプロセスパラメータの行程から行程へのプロセス検証とコントロールを可能にし、検出されたあらゆる不具合や相当する原因を、プロセス装置、プロセスエンジニアに即時に自動でフィードバックします。

FabGuardセンサ統合および分析システムは、In-Situセンサからデータを取得し、そのデータをプロセス装置自身のデータと統合して蓄積および分析することにより、すぐに役立つ情報をプロセスエンジニアに提供します。逆にエンジニアは、FabGuardに自動的にコントロールコマンドを直接プロセス装置へ送らせるよう選ぶことができます。

生産力を強化するパワフルなデータ管理

製造データをあなたのために働かせましょうFabGuardセンサ統合および分析システムは、プロセスコントロールを提供し、さらに、プロセスの変化・汚染・装置の故障に起因する損失、または不要なテストウェハを低減することにより、装置の生産性を強化します。

FabGuardは継続的にプロセスを監視し、コントロールします。FabGuardはINFICONセンサ、また、適した作業に使用する組込み式センサから利用可能な全データを自動的に収集して起動します。このデータはソートされ、分析結果はSQL検索データベースに保存されます。情報は信号、安定した容易なインターフェースを通して作業者が閲覧できるようになっています。FabGuardがそこで高度な物理モデルと統計技術を使ってデータを分析して複数パラメーターから標準を探し、前回の作業から発展したモデルと毎秒ごとに比較します。このロバストな技術によってFabGuard はプロセス事象を正確に検出、そしてそれをプロセスコントロールに使うことができ、かなり少ないアラームによってプロセスの脱線をすばやく検出します。


FabGuard特長一覧
  • プロセスコントロールの行程から行程をリアルタイムで分析し、不具合を見つけることによって、破損を減らし、プロセスコントロールを向上させます。
  • データ収集と過去ファイルへの保存を自動化することで、複数センサからまとめたSPCデータを強化し、ハードウェアの余剰を減らしながら、装置、プロセス、製造全体から統合した全データに便利にアクセスし分析できるようになります。
  • 全装置データにシングルユーザインターフェースがあることで学習曲線が下降
  • 不具合を分類して問題にすばやく対応し、ダウンタイムを最小化
  • 装置/プロセスの健全さについて全体の印象を持つことで予防メンテナンス担当者を手助け

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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Brochure - FabGuard Sensor Integration and Analysis System
English

Technical Information:

   Application Note - Achieving Process Understanding and Real-time Fault Detection on a PVD Tool
English

   Application Note - Transfer Chamber Monitoring / 200mm and 300mm PVD Cluster Tools
English

   Technical Note - DC Power Fault Detected by FabGuard
English

   Technical Note - Detecting Contamination in a Transfer Chamber by a CVD Chamber Using FabGuard
English

   Technical Note - FabGuard Data Management
English

   Technical Note - FabGuard HYT In Situ Particle Monitor and Tool Data Sensor
English

   Technical Note - FabGuard Sensor Integration and Analysis System: Return on Investment
English

   Technical Note - FabGuard Tool Data Sensor for Equipment Data Collection and Diagnostics
English

   Technical Note - Principal Component Analysis for Fault Detection on Implanter with FabGuard
English

   Technical Note - Statistical Process Control with FabGuard
English

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