いつ、どこでもINFICONの診断専門知識に呼びかければ、プロセスの監視およびトラブルシュートを行います。
eFabGuardグローバルサポートネットワーク
各ツールはFabGuardソフトウェア実行専用コンピュータを持ち、それらはINFICONやその他のin situセンサのコントロールおよびツールデータの収集を行います。FabGuard ExecutiveはツールとFabGuard Remoteの間の情報トラフィックを管理します。FabGuard Executiveはローカルネットワークに接続可能です。eFabGuardはどこでもいつでも安全なVPNを通してFabGaurdをINFICONと接続します。
半導体ツールとプロセス用にマルチセンサ分析および診断能力を持つ、最初のインターネットベースの監視ネットワークであるeFabGuardで電子診断のさらに先に行きましょう。FabGuardセンサ統合および分析システムとともに作動して、プロセスに持続的に接続を可能に、またINFICON半導体と真空スペシャリストはeFabGuardを遠隔的に使用してデータを見て分析の援助および問題のトラブルシュートを行うことができます。結果としてツールのアップタイムと生産力の向上です。
マルチセンサ分析および診断でプロセス問題により速い応答
FabGuardセンサ統合および分析システムはプロセスの全ツールの全センサを監視できます。
- プロセスコントロールと誤り検出で終点を割り出すために、実行毎回のおよびリアルタイムの分析を提供
- MTTRとツール回復時間の減少
- 問題へのより速い応答とより小さいダウンタイムのために、不具合の検出および分類
- SPC強化のため、自動的にデータを収集および保存
- 便利なアクセスと分析のために複数のセンサからデータを統合
- ツール/プロセスの健全さについて全体的な理解を持つことで予防メンテナンス担当者を手助け
eFabGuardの特長一覧
eFabGuardで現場のエンジニアとともに仕事をするINFICON専門家たちは
- 直ちにツールとプロセス問題を見れる
- ツールドリフトを早期に検出および分類、定期メンテナンスを効率的にスケジュール、新しいアプリケーションの開発を行うために連携
- FabGuard分析レシピを維持
- センサ性能を監視
INFICON専門家はアップタイムと生産力を改善するためにあなたと共に仕事を行います
eFabGuardは多数のFabGuardデータを取り、とても安全なインターネットベースの仮想プライベートネットワーク（VPN）を介してINFICON専門家とファブ職員に常時利用可能とします。これは簡単で効率的に、長年の高度なプロセスコントロールを通して開発された、特化された専門知識と応用知識、および誤り検出専門知識および問題解決を速める知識の活用を可能にします。
データは守られます
eFabGuardは業界に認められている、インタネットのアクセスのしやすさと専用ネットワークの高度な安全、プライバシー、およびサービスの質を組み合わせた仮想プライベートネットワーク（VPN）を介してデータの送受を行います。オペレーティングシステムまたはルータに組み込まれている高度なデータ暗号化（3DESとIPSec）は、他の対策とともに、独自のプロセス情報の機密性を確かにします。
自分とINFICONの専門家が同時および安全に、すべてのツールとプロセスデータを世界のどこからでも監視ができるeFabGuardは、前例のない不具合の検出と分類、機器の全般的な効率性、および稼働時間の最大化を現場サービスのすべてを、より速くて費用効率良く提供します。
関連技術情報
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - eFabGuard Global Support Network
English
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